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高纯气体输送系统中气体与管道的关系

高纯气体输送系统中气体与管道的关系

  • 分类:新闻资讯
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  • 来源:
  • 宣布时间:2022-04-24
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【提要描述】高纯气体管道技术是高纯气体供应系统的重要组成部分 ,是能否将切合要求的高纯气体输送到用气点并坚持质量及格的要害技术。所谓高纯气体管道技术包括系统的正确设计、管件和附件的选择、施工、装置、试验等。近年来 ,以大规模集成电路为代表的微电子产品的生产对高纯气体的纯度和杂质含量的要求越来越严格 ,使得高纯气体的管道技术日益受到关注和重视。

高纯气体输送系统中气体与管道的关系

【提要描述】高纯气体管道技术是高纯气体供应系统的重要组成部分 ,是能否将切合要求的高纯气体输送到用气点并坚持质量及格的要害技术。所谓高纯气体管道技术包括系统的正确设计、管件和附件的选择、施工、装置、试验等。近年来 ,以大规模集成电路为代表的微电子产品的生产对高纯气体的纯度和杂质含量的要求越来越严格 ,使得高纯气体的管道技术日益受到关注和重视。

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  高纯气体管道技术是高纯气体供应系统的重要组成部分 ,是能否将切合要求的高纯气体输送到用气点并坚持质量及格的要害技术。所谓高纯气体管道技术包括系统的正确设计、管件和附件的选择、施工、装置、试验等。近年来 ,以大规模集成电路为代表的微电子产品的生产对高纯气体的纯度和杂质含量的要求越来越严格 ,使得高纯气体的管道技术日益受到关注和重视。

高纯气体

  高纯气体作为现代工业的重要基础原料 ,有着广泛的用途 ,广泛应用于冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医疗等部分。气体的应用 ,特别是这些领域的高科技 ,有着重要的影响 ,是不可或缺的原料气或工艺气。只有在种种新的工业部分和现代科学技术的需要和推动下 ,气体工业产品才华在品种、质量和数量上迅速生长。

  高纯气体的使用在半导体制造历程中一直起着重要的作用 ,尤其是半导体制造历程目前已经广泛应用于各个行业。从古板的ULSI、TFT-LCD到现在的MEMS工业 ,都是接纳所谓的半导体制造工艺作为产品的制造工艺 ,包括干法刻蚀、氧化、离子注入、薄膜沉积等。所有这些都使用相当多的气体 ,并且气体的纯度关于部件性能和产品产量是决定性的。

  高纯管道在高纯气体输送中的意义:在不锈钢冶炼历程中 ,每吨可吸收约200g气体。不锈钢经过处理后 ,不但种种污染物粘在它的外貌 ,另有一定量的气体被困在它的金属网格里。当管道中有气流时 ,这部分被金属截留的气体会重新进入气流 ,污染纯净的气体。当管道中的气流不连续时 ,管道在压力下吸收通过的气体 ,当气流停止时 ,被管道吸收的气体变得减压并被剖析 ,被剖析的气体也作为杂质进入管道中的纯气体。同时 ,吸赞同剖析的循环使管道内外貌的金属爆发一定的粉末 ,也污染了管道内的纯净气体。管道的这一特性很是重要。为了确保输送气体的纯度 ,要求管道的内外貌不但具有很是高的平滑度 ,并且具有高的耐磨性。

  当使用腐化性强的气体时 ,需要使用耐腐化的不锈钢管作为管道 ,不然管道内外貌会因腐化而爆发腐化斑 ,严重时会泛起大块金属剥落甚至穿孔 ,从而污染输配用的纯净气体。大流量、高纯度、高洁净度气体输配管道的连接原则上应全部接纳焊接 ,要求管道在焊接历程中结构无变革。焊接含碳量超标的质料时 ,在焊接部位通风 ,使管内外气体相互渗透 ,破坏了输送气体的纯净、干燥和清洁 ,导致我们的一切努力都没有意义。综上所述 ,关于高纯气体和特殊的输气管道 ,需要接纳一种经过特殊处理的高纯不锈钢管 ,这样高纯管道系统在高纯气体分派中起着至关重要的作用。


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